光刻胶储存温度及注意事项

光刻胶储存温度及注意事项如下：

一、储存温度

1. 核心范围：光刻胶应存放在低温环境中，推荐温度为2°C至10°C。具体可分为：

• 通用范围：5°C至8°C（适用于多数紫外光刻胶）。

• 特殊情况：部分光刻胶可短期存储于-20°C以下（需参考产品标签说明）。

• 上限阈值：储存温度不得超过30°C，否则会加速化学反应，导致粘度降低、固含量增加、光敏性下降，甚至缩短保存期限。

2. 温度波动影响：需避免频繁开关冰箱门或暴露于室温环境，温度骤变可能引发气泡产生，影响涂覆均匀性。

二、关键注意事项

1. 避光处理：

• 包装要求：使用防紫外线的棕色玻璃试剂瓶（部分电子束胶可用白色塑料瓶）。

• 环境控制：存储于无窗或遮光窗帘的室内，运输时使用遮光工具。

• 操作规范：紫外光刻胶仅可在黄光（λ>500nm）下处理，减少光照时间，使用后立即放回遮光环境。

2. 湿度管理：

• 干燥环境：湿度需低于60%，避免水分渗透破坏化学结构。

• 密封措施：使用密封袋或密封容器，防止受潮。

3. 防震动保护：

• 存储方式：避免剧烈震动，可使用泡沫箱或缓冲材料固定。

• 运输要求：运输工具需配备安全设备，人员需接受危险品处理培训。

4. 使用规范：

• 取用流程：从冰箱取出后，需在室温下静置30-60分钟，待温度平衡后再开封，防止气泡产生。

• 分装建议：大包装光刻胶可分装至干净小瓶，减少开盖次数，大瓶密封后冷藏保存。

• 小瓶处理：分装后的小瓶可用锡箔纸包裹，标注信息后存储。

5. 保存期限：

• 有效期：未开封光刻胶在推荐温度下可保存1-2年（具体以产品标签为准）。

• 开封后处理：频繁开盖会导致溶剂蒸发，需按实际用量购买，避免浪费。

6. 容器与清洁：

• 试剂瓶选择：使用无染色特氟龙或无增塑剂HD-PE塑料瓶，或低钠玻璃容器。

• 清洗步骤：分装前需用去除有机杂质，再用异丙醇清洗残留，确保瓶内无异丙醇残留（挥发慢会破坏光刻胶）。

7. 脱气处理：

• 分装后等待：根据粘度不同，分装后需静置数小时，使引入的气泡脱气，避免涂胶时出现气孔缺陷。

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