光刻胶使用和储存注意事项-光刻胶冰箱

光刻胶的保存环境需要特别注意温度、光照、湿度和震动。建议将光刻胶存放在-20℃以下的低温环境中，使用冰箱储存，并避免温度波动。避免光刻胶直接暴露在强光下，可以使用黑色遮光袋或遮光箱保护。光刻胶应存放在干燥的环境中，使用密封袋或密封容器保护，避免受潮。光刻胶应避免剧烈震动，使用泡沫箱或其他缓冲材料保护。

二、光刻胶使用和储存注意事项

1. 保存

光刻胶中的光敏组分非常脆弱，储存时需注意温度、储存时间及外包装材料。一般使用棕色玻璃瓶包装，并套上黑色塑料袋。光刻胶的保存期限为6个月至1年，具体取决于光刻胶种类和保存条件。存放和使用光刻胶时，应注意保存期限，避免使用过期光刻胶。

2. 涂布温度

光刻胶涂布温度应与室温相同，一般为23度。在旋涂时，高于此温度会导致中间部分变厚，低于此温度则会导致中间部分变薄。涂布前，晶圆需置于冷板上，确保每次涂布时晶圆温度一致。

3. 湿度控制

光刻胶涂覆工段应与自动纯水清洗线相连，保证该段的洁净度。同时，湿度控制也很重要。若湿度控制不当，会导致光刻胶涂覆良品率降低，显影时光刻胶脱落严重，无法起到保护作用。

4. 涂胶后产品的放置时间控制

生产设备出现故障等情况下，涂完光刻胶的产品需保留，保留时间一般不超过8小时。若曝光前光刻胶已失效，则不能作为，需返工处理。

5. 前烘温度和时间控制

前烘的目的是促使胶膜内溶剂充分挥发，使胶膜干燥，增强胶膜与基板表面的粘附性和耐磨性。前烘温度不宜过高，否则会导致光刻胶膜碳化，影响光刻效果。一般情况下，前烘温度应低于后烘坚膜温度，时间也应较短。

6. 显影条件控制

显影时需控制显影液的温度、浓度及时间。温度和时间直接影响显影速度。若显影时间不足或温度过低，则感光部位的光刻胶无法完全溶解，导致刻蚀时膜面保护作用。若显影时间过长或温度过高，则未被曝光部位的光刻胶也会被溶解，使图案边缘变差，严重时会导致光刻胶大量脱落，形成脱胶。