光刻胶的储存要求-光刻胶冷藏存储柜

光刻胶的储存要求

（1）光照条件：光刻胶在储存过程中会老化，因此通常保存在防紫外光的棕色玻璃试剂瓶中（一加仑包装，部分电子束胶由于对紫外波段不感光，有可能直接使用白色塑料瓶包装），10C以下冷藏保存，并且紫外光刻胶只能在黄光（λ> 500 nm）下进行处理。而就是这样的一个储存瓶子，国内目前的技术还无法生产，需要进口。

（2）温度条件：对于绝大多数紫外光刻胶而言，通常的保存条件是5-10℃下保存（除制造商要求的特殊保存温度外）。

（3）膜度控制：如果频繁打开光刻胶试剂瓶会导致溶剂蒸发，光刻胶会增稠并因此产生较厚的膜。对于膜厚为1.4 µm的光刻胶，仅损失1％的溶剂就已经导致4％的膜厚，因此带来的影响是厚度偏移，厚度与CD 的swing curve（入射光与底层反射的二次干涉引起的驻波效应）强相关，一旦偏移会造成产线CD关键尺寸异常，产品返工。所以产线量产型光刻胶juedui不允许开封，都是直接装到机台的光阻chemical box中直接使用，因此一般光刻胶对于膜厚控制的敏感度来自于光刻胶的批次稳定性以及老化稳定性，在装机后的使用周期内，要确保恒温恒压恒湿条件。